VSM-1000-MICRO显微镜激光测振仪
基于自混干涉技术的激光测振仪的构造要比传统的多普勒效应的】激光测振仪简单得多。从半导体二极管出来的激光打到反射或散射表面后，一小部分背反射或背散射的光再次进到激光腔◥体，然后产生干涉信号，从中可以得到被测表面法向方向的位移 。
VSM-1000-MICRO有两种激光。测量□振动的激光是红外（波长1310nm），不可见的。红外和不可见激光是完全的眼睛安全的。另外一个红色的指示激光是为不可见的红外激︼光对中之用。为了不占满摄⌒像机，红色∮指示激光的功率减到1mW，光斑大∩小为10um.激光测振仪被附在显微镜的特殊调节架上，边通滤波镜主要用以红外激光和可见激光的反射，然后分别聚★焦到测试目标上。滤波镜能够
传递20%从测试表面上散射回来的光，并且在CMOS摄像机的传感器上聚焦∞。为了能对中方便，显微镜装在一个俯仰、倾斜和旋转位移♀台上。显微镜激光测振仪测量测试表面的法向分量的振动。
应用：本产品适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶√电池盖、导线框架等【产品的检查观察。
也适用于几何形状的显微观测，并且有¤三维的计量功能。因此是精密零件，集成电路，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必备仪◣器。
光学指标 ：
激光类型 ：
Pout < 1 mW @ 650 nm(collimated)
Pout < 15 mW @ 1310 nm (focused)
激光等级：
· Class 2 @ 650 nm (可见)
· Class 1M @ 1310 nm (不可见)
激光头尺寸☆：50 mm x 70 mm x 105 mm
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控制单元尺寸：12.5 cm x 15.5 cm x 29.6 cm
彩色摄像机指标：
- 130万像素(1280 x 1024) 黑白，彩色和近红外CMOS传感器
- 像素 ：1280 x 1024 Pixels
- 工作距离： 21.7 mm
- 激光深度： 0.048 mm
- 光斑直径： 4.0 μm
- 范围：300um x 250 um (X50目镜)
激光测振仪指标：
量程： 1mm (p-p) 频率范围：0-50 KHz （20KHZ-3 MHz）
分辨率： 0.2 nm s–1/√Hz 精度 ：+-1% (0-50KHZ),+-5%(20KHZ-3MHZ)
产品系列：
显微式三维扫∞描激光测振仪