高精度激光位移传感器（高精度三角位移传感器）
现代制造业已经是一个传感器驱动的世界，几乎在所有的制造过程中，精确的实时测量在很大程度上依赖于传感器。在引入光㊣学技术后，传感器朝着更快速、更精确、更可靠的方向发展。与△传统测量方式相比，光学测量传感器，尤其是激光测量传感器由于其非接触且快速测量的能力在工业中得到广⊙泛的应用。其中最典型的应用例子就是高精度激光位移传感器（高精度三角位移传感器），常用于长Ψ度、距离、振动、速度、方∴位等物理量的测量，其应用场景还外延至振动测量、轮廓检测、厚度测量、曲率测量、透明物体的厚度测量等多方面。
漠阳谷依靠核☆心团队在光电通信及非接触式振动领域内的深厚技术积累，利用其集成光学芯片技术的优势开发了一种新型的高精度激光位移传感器（高精度三角位移传感器）系列。如图1所示，我们将光学相干检测光≡路，测距光路集成在光学芯片上， 并通过一个一体化封装将集成光学芯片、激光二极管、探测器阵列和光学透镜组成一个√小型化激①光传感模组。再通过自主研发的FMCW测距算法， 实现中短距离情况下●适用于工业自动化产线的高精度位移测量。
相较于基恩士的LK-G5000系列三角法位移传感器和CL-3000系列白光ξ共焦法位移传感器，漠阳谷自主研发的MMD系列激光位移○传感器的主要♀特点是统一采用了同轴测量这一更ζ 方便灵活的测量方式，在满足了同等的位︾移测量精度的情况下，可以在更低的成本下支持相对更远工作距离及匹配的工作范围和『更快的测∏量速度。 下表中¤简单对比了漠阳谷的MMD-G6000型位移传感器在性能指标与基恩士的两类位移传感器产品所进行的一个简单对比。
指标 | Keyence LK-G5000型 | Keyence CL-3000型 | MMD-G6000型 | ||
典型距离下典型测量精度 | 0.2mm@100mm | 0.2mm@70mm | 0.25mm@150mm | ||
典型采样速度 | 10K/s | 10K/s | 5M/s | ||
平均次数 | 65525 | 16384 | 10K | ||
典型距离处有效测量△范围 | +/-25mm | +/-10mm | +/-25mm | ||
测量线性度 | 测←量范围的0.02% (10mm @50mm 测量范围) | +/-2mm | <+/-0.02% | ||
传感头与驱动/处理单№元分离 | 传感器+放大器+控制器 | 光纤传感头+光学单元+控制器 | 传感器/控制器一体 | ||
尺寸/体积 | 传感器82x76x33 (mm3) |
| 传感器80x50x22 (mm3) | ||
输出激光等级 | Class 2, <1mW output |
| Class 1, <5mW output | ||
激光波长 | 633 nm (visible red) | 可见光→波段 | 1310 nm | ||
适用应用范围 举例 | 不透明表面♂位移 | ? | ? | ? | |
透↑明表面位移（液面） |
| ? | ? | ||
透明物体厚度 | ? | ? |
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快速走移表面 |
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| ? | ||
深孔检测 |
| ? | ? | ||
从卐上表的对比中可以看出，漠阳谷的MMD-G6000系列高精度激光位移传感器（高精度三角位移传感器）振动传感器首先在测量精度等指标上与基恩士◥的LK-G5000系列和CL-3000系列位移传感器有相同等级的位移测量精度，但我们产品的采样率和有效数据更新率更快，更适合高速移动下的位移测量。并且漠阳谷的产品采用了一体化的设计，从传感器本身的体积到控□制器的集成度，都与另两类有质的区别，尤其适合在有限空间下实现多通道多部位的位移传感。
总体看来，漠阳谷的高精度激光位移传感器（高精度三角位移传感器）采用了自主研发的非线性调频连续】波调制解调（FMCW）技术，基于光学相干接收原理，具有光功率极低（距离15cm外输出光功率№仅需5mW）、测量范围广（可以测量从几厘米到4米范围内〗的物体）、测量精度高（理论精度位测量距离的（10^(-5）)、抗干扰性强（只对自身光源⌒ 波长敏感，可以抵抗任何环境光的干扰）等特点。某种程度上，漠阳谷的MMD型位移传■感器综合了基恩士两大位移产品系▽列的大部分优点，并在低成本上有更大的优势。更多高精度激光位移传感器（高精度三角位移传感器）请与我们联系。